Fampiharana manokana momba ny fanadiovana Plasma

Mamorona plasma amin'ny alàlan'ny fametrahana elektrôda roa ao anaty fitoeran-javatra voaisy tombo-kase ny milina fanadiovana/etching mba hamoronana saha elektrika. Ny paompy banga dia ampiasaina mba hitazonana ny haavon'ny banga. Rehefa miha-kely ny entona dia mitombo koa ny elanelana misy eo amin'ny molekiola sy ny fivezivezena malalaka amin'ny molekiola na ion. Eo ambanin'ny fitaoman'ny saha elektrika, ireo ion ireo dia mifandona ary mamorona plasma. Mihetsika be ireo ion ireo, manana angovo ampy hanapaka saika ny fatorana simika rehetra, miteraka fanehoan-kevitra simika amin'ny faritra rehetra miharihary. Ny plasma gazy samihafa dia manana toetra simika samihafa. Ohatra, ny plasma oksizenina dia tena oxidizing, afaka oxidizing photoresist hamokatra entona, ka hahatratra ny fanadiovana vokany. Ny plasma entona manimba dia manana anisotropy tena tsara, izay mahafeno ny fepetra takian'ny etching. Ny fitsaboana amin'ny plasma dia miteraka hazavana, noho izany ny anarana hoe glow discharge.
Ny mekanika amin'ny fanadiovana plasma dia miankina indrindra amin'ny "fampahavitrihana" ny poti-javatra mavitrika ao amin'ny plasma mba hanesorana ny tasy. Eo amin'ny sehatry ny fanehoan-kevitra, ny fanadiovana plasma amin'ny ankapobeny dia misy dingana manaraka ireto: ny gazy tsy organika dia mientanentana ho lasa fanjakana plasma; misy gazy mipetaka eo amin'ny tany mafy; ny vondrona adsorbed dia mihetsika miaraka amin'ny molekiola eo amin'ny tany mafy mba hamorona molekiola vokatra; ny molekiolan'ny vokatra dia simba ao anatin'ny dingan'ny gazy; ary esorina eny ambonin'ny tany ny sisa tavela.

Ny endri-javatra manan-danja indrindra amin'ny teknôlôjia fanadiovana plasma dia ny hoe afaka mitsabo karazana substrate rehetra, anisan'izany ny metaly, semiconductor, oxides, ary ny ankamaroan'ny akora polymer toy ny polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, ary na polytetrafluoroethylene aza. Afaka manadio ny faritra manontolo sy ny faritra manokana, ary koa ny rafitra sarotra.